[ NAC미디어 (뉴스 애니한닷컴) / webmaster@nacpress.com ] 미국을 방문 중인 경기도 투자유치 대표단(단장 : 김문수 도지사)은 9월 27일 8시30분(현지시간),일리노이주 오로라에 소재하고 있는 반도체 원판 연마제 제조기업 캐봇 마이크로일렉트로닉스(Cabot Microelectronics, 대표:윌리엄 노글로우)社를 방문하여 도내 반도체 CMP 공정용 연마제 제조거점 및 연구시설 설립에 대한 투자협약(MOU)을 체결했다.

※ 투자개요 : 반도체 CMP 슬러리(반도체 원판 평탄화 작업용 액체) 및 패드 제조시설 설립, 무기화합물 연구시설 설립 /입지 : 평택 오성산업단지 내 2,000평

캐봇 마이크로일렉트로닉스社가 투자하게 되는 반도체 CMP 공정용 소재 시장은 세계 IT산업의 발전에 따라 1994년부터 급성장하고 있는 반도체 공정 분야이다.

캐봇 마이크로일렉트로닉스社는 CMP 공정용 무기화합물 공급 세계 1위 기업이며, 특히 최근 반도체 디자이스의 고집적화에 따라 사용이 확산되고 있는 세리아 연마제 분야에 강점을 갖고 있다.

☞ (Chemical Mechanical Polishing) 공정이란 : 웨이퍼를 연마 패드 위에 접촉하도록 한 상태에서 연마제(슬러리)를 공급하여 웨이퍼 표면을 화학적으로 반응시키면서 플래튼(platen)과 연마 헤드를 상대 운동시켜 기계적으로 웨이퍼 표면의 요철 부분을 평탄화하는 공정임

금번 투자를 통해, 캐봇 마이크로일렉트로닉스社는 한국 내 고객사인 삼성전자 및 하이닉스 반도체의 생산 공정에 필요한 신소재 반도체용 무기 화합물을 안정적으로 공급할 수 있는 제조시설을 확보하게 된다.

이 제조시설을 이용한 상호 개발 협력을 통해 국내 고객사에게 최적의 CMP용 세리아 무기 화합물을 공급할 수 있게 된다.

나아가 생산 공정의 미세화와 다층화로 어려움을 겪고 있는 나노급 반도체 제품의 수율과 신뢰성 향상에 기여할 것으로 기대된다.

특히 이번 투자는 경기도와 KOTRA 시카고 무역관이 긴밀한 공조를 통해 성사시킨 것으로 시카고 무역관은 금년 3월부터 캐봇 마이크로일렉트로닉스社를 방문, 경기도 입지의 우수성과 인센티브를 지속적으로 홍보하였다.

이날 조인식에 참석한 김문수 경기도지사는 캐봇 마이크로일렉트로닉스社의 선진화된 기술과 노하우, 경험을 한국 공장에 정착시켜, 국내 반도체 산업 및 소재산업의 발전에 기여해 줄 것을 부탁하며, 도의 지속적인 행정 지원을 약속했다.

캐봇 마이크로일렉트로닉스社는 반도체 CMP 공정용 무기 화합물 및 패드를 생산하는 기업으로서, 화학 회사인 캐봇의 사업부에서 독립하여 2000년 설립된 젊은 기업이다. 현재 전체 직원 925명 가운데 약25%가 개발인력으로서 새로운 상품 개발을 위한 R&D에 지속적인 투자를 하고 있다.

한편 김문수 경기도지사는 이날 버지니아주 페어팩스에서 경기도의 자매결연 지역인 버지니아주 로버트 맥도넬(Robert F. McDonnell) 주지사와 양도·주간 친 기업환경정책 정보교환 등 기업 협력, 공동 연구개발 및 협력, 항만·물류 분야의 협력 등 교류·협력 활성화 방안을 논의하였다.